特許
J-GLOBAL ID:200903044190780115

X線発生装置、X線撮像装置及びX線検査システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-054267
公開番号(公開出願番号):特開2000-252095
出願日: 1999年03月02日
公開日(公表日): 2000年09月14日
要約:
【要約】【課題】 X線管からパルス状のX線を安定して発生させることが可能なX線発生装置を提供すること。【解決手段】 カソード電流を検出するカソード電流検出用抵抗器111と、所定の負電圧を発生させる負電圧発生部112と、パルス発生器105からのパルスを反転させるパルス反転器113と、反転パルスがオン状態にあるときに、負電圧発生部112にて発生された所定の負電圧を出力する第1スイッチ114と、基準の正電圧を発生させる基準電圧発生部115と、パルス発生器105からのパルスがオン状態にあるときに、基準電圧発生部115にて発生された基準の正電圧を出力する第2スイッチ116と、入力端子(+)にカソード電流検出用抵抗器111での電圧が入力され、入力端子(-)に所定の負電圧あるいは基準の正電圧が入力される演算増幅器117と、演算増幅器117からの出力を受けて第1グリッド電極71に印加される電圧を制御するグリッド電圧制御回路118と、が設けられている。
請求項(抜粋):
真空に封止された筐体内で、カソードから放出された電子を、グリッド電極を介して陽極ターゲットに衝突させることによってX線を発生させるX線管と、前記グリッド電極に印加されるグリッド電圧を制御するグリッド電圧制御手段と、オフ状態からオン状態とされて、前記オン状態が所定時間維持されるパルスを発生させるパルス発生手段と、を備え、前記グリッド電圧制御手段は、前記パルス発生手段にて発生された前記パルスを受けて、前記パルスが前記オフ状態にある時に、前記カソードから放出された前記電子が前記陽極ターゲットに到達しないように、カットオフ電圧を前記グリッド電極に対して印加し、前記パルス発生手段にて発生された前記パルスを受けて、前記パルスが前記オン状態にある時に、前記カソードから放出されて陽極ターゲットに衝突する前記電子の量が所定値となるように調整されたグリッド動作電圧を前記グリッド電極に対して印加することを特徴とするX線発生装置。
IPC (2件):
H05G 1/34 ,  G01N 23/04
FI (2件):
H05G 1/34 H ,  G01N 23/04
Fターム (21件):
2G001AA03 ,  2G001BA06 ,  2G001CA01 ,  2G001GA09 ,  2G001GA11 ,  2G001HA13 ,  2G001JA11 ,  2G001KA03 ,  4C092AA01 ,  4C092AB10 ,  4C092AB12 ,  4C092AC08 ,  4C092CC03 ,  4C092CC11 ,  4C092CD01 ,  4C092CD08 ,  4C092CE06 ,  4C092CF13 ,  4C092CF14 ,  4C092CF42 ,  4C092CH03
引用特許:
審査官引用 (10件)
  • 蛍光X線分析装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-023186   出願人:株式会社堀場製作所
  • パルスX線装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-254082   出願人:株式会社東芝
  • X線非破壊検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-326079   出願人:株式会社スタビック
全件表示

前のページに戻る