特許
J-GLOBAL ID：200903044224731259
プラズマ式化学蒸気沈積設備の自動監視方法及び系統
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 孝吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-228854
公開番号（公開出願番号）：特開2001-335949
出願日： 2000年07月28日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：
【要約】【課題】 反応室内のプラズマ反応結果による輻射光が良好であるか否かを自動的に監視し、並びに従来の反応室に直接、且つ、簡易にマッチングして使用できるプラズマの輻射光を自動的に監視する方法とその系統を得る。【解決手段】 本発明は光学モデルで、直接反応室20から輻射光信号を捕獲し、フォトエレクトリック回路40によって信号を処理して、更に電子デジタル信号に変換し、且つ、中央処理ユニット60に連接してプラズマ輻射光の現象資料を読取り、分析・判断及び制御するプラズマ式化学蒸気沈積設備の自動監視方法及び系統を提供する。
請求項（抜粋）：
プラズマ式化学蒸気沈積設備の自動監視方法であって、該方法には輻射光捕獲器の探測端が設備工作台の観測口に取り付けられており、前記輻射光捕獲器は設備工作台の観測口を経て、直接反応室から輻射光信号を捕獲するように構成され、該輻射光信号はフォトエレクトリック回路を経て電子アナログ信号に変換され、該電子アナログ信号はアナログ/デジタル信号変換インタフェースを経てデジタル電子信号に変換され、更に、該電子信号は中央処理ユニットに伝送されて捕獲した輻射光の現象データーを読取り、分析・判断及び制御するように形成されたことを特徴とするプラズマ式化学蒸気沈積設備の自動監視方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
4K030FA01
, 4K030JA05
, 4K030JA09
, 4K030KA36
, 4K030KA39
, 4K030KA41
, 5F045AA08
, 5F045BB20
, 5F045GB08
, 5F045GB15
