オゾン発生装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-238902
公開番号（公開出願番号）：特開2000-072410
出願日： 1998年08月25日
公開日（公表日）： 2000年03月07日
要約：

【要約】【課題】電極のスパッタ劣化を防止することができ、かつ高効率にオゾンを発生させることができるオゾン発生装置を提供する。【解決手段】誘電体板1の一面に、一対の電極2,3が設けられている。誘電体1の一面に、一対の電極2,3を覆って誘電体層4が設けられている。各電極2,3は線状部材2a,3aを有し、線状部材2a,3aは互いに一定間隔をおいて配置されている。

請求項（抜粋）：