特許
J-GLOBAL ID：200903044291193458
ヒーター部品
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 淳 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-231468
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067427
出願日： 1997年08月27日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：
【要約】【課題】 酸化性雰囲気中、真空雰囲気中、さらには腐食性雰囲気中においても高耐久性を発揮し、且つ、温度均一性に優れたヒーター部品を提供する。【解決手段】 密度が2.9g/cm3 以上であり、且つ炭化ケイ素粉末と非金属系焼結助剤とが均質に混合された混合物を焼結することにより得られた炭化ケイ素焼結体で形成され、好ましくは、焼結体はホットプレスにより形成される。また、物性としては、体積抵抗率が10Ωcm以下、含まれる不純物元素の総含有量が1ppm以下であることが好ましい。
請求項（抜粋）：
密度が2.9g/cm3 以上であり、且つ炭化ケイ素粉末と非金属系焼結助剤とが均質に混合された混合物を焼結することにより得られた炭化ケイ素焼結体で形成されたことを特徴とするヒーター部品。
IPC (3件)：
H05B 3/14
, C04B 35/626
, H01L 21/205
H05B 3/14 C
, H01L 21/205
, C04B 35/56 101 R
