特許
J-GLOBAL ID：200903044357259153

アクティブ除振装置および露光装置

発明者：
涌井 伸二

涌井 伸二 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-139242
公開番号（公開出願番号）：特開平11-327657
出願日： 1998年05月07日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：
【要約】【課題】 XYステージの高速移動に伴う重心変化の影響を排除したアクティブ除振装置を提供する。【解決手段】 移動可能なステージを支持する構造体を搭載する除振台、空気ばねアクチュエータと振動計測手段と位置計測手段と該空気ばねアクチュエータの加圧力を計測する加圧力計測手段とを備え前記除振台を支持する複数台の能動的支持脚、および前記位置計測手段の出力に基づいて指定された平衡位置に前記除振台を位置決めする位置フィードバック系と前記振動計測手段の出力に基づいて前記除振台にダンピングを付与する加速度フィードバック系と前記加圧力計測手段の出力に基づいて前記空気ばねアクチュエータの加圧力を制御する加圧力フィードバック系とを有する制御装置を備えたアクティブ除振装置において、前記除振台の上のステージが移動することによって発生する前記除振台の傾きを矯正する補正信号を前記ステージの位置を検出する位置検出手段の計測値に基づいて作成し、これを前記加圧力フィードバック系にフィードフォワード入力する手段を設ける。
請求項（抜粋）：
移動可能なステージを支持する構造体を搭載する除振台、空気ばねアクチュエータと振動計測手段と位置計測手段と該空気ばねアクチュエータの加圧力を計測する加圧力計測手段とを備え前記除振台を支持する複数台の能動的支持脚、および前記位置計測手段の出力に基づいて指定された平衡位置に前記除振台を位置決めする位置フィードバック系と前記振動計測手段の出力に基づいて前記除振台にダンピングを付与する加速度フィードバック系と前記加圧力計測手段の出力に基づいて前記空気ばねアクチュエータの加圧力を制御する加圧力フィードバック系とを有する制御装置を備えたアクティブ除振装置において、前記除振台の上のステージが移動することによって発生する前記除振台の傾きを矯正する補正信号を前記ステージの位置を検出する位置検出手段の計測値に基づいて作成し、これを前記加圧力フィードバック系にフィードフォワード入力することを特徴とするアクティブ除振装置。
IPC (5件)：
G05D 19/02 ,  F16F 15/02 ,  G03F 7/22 ,  G05B 13/02 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G05D 19/02 D ,  F16F 15/02 A ,  G03F 7/22 H ,  G05B 13/02 S ,  H01L 21/30 503 F
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 能動的除振装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-284589   出願人：キヤノン株式会社
  • 特開平4-244628
  • 特開平4-244628

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