特許
J-GLOBAL ID：200903090426466842
能動的除振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-284589
公開番号（公開出願番号）：特開平10-110776
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】【課題】 除振台の目標位置からのずれを防止する。【解決手段】 除振台と、該除振台に駆動力を付与する空気バネアクチュエータと、前記除振台の振動を検出する振動検出手段と、前記除振台の位置を検出する位置検出手段と、前記振動検出手段の出力によってダンピングを与える加速度フィードバックループと、前記位置検出手段の出力から位置偏差信号を生成して補償を掛ける位置ループと、位置偏差信号を補償する安定化補償器とを有する能動的除振装置において、前記安定化補償器を、PI補償器に積分器を1個追加したPI2 補償器で構成する。
請求項（抜粋）：
除振台と、該除振台に駆動力を付与する空気バネアクチュエータと、前記除振台の振動を検出する振動検出手段と、前記除振台の位置を検出する位置検出手段と、前記振動検出手段の出力によってダンピングを与える加速度フィードバックループと、前記位置検出手段の出力から位置偏差信号を生成して補償を掛ける位置ループとを有する能動的除振装置において、前記位置ループ中に、PI補償器に積分器を1個追加したPI2 補償器を備えた安定化補償器が配置されていることを特徴とする能動的除振装置。
IPC (4件)：
F16F 15/02
, G03F 7/20 521
, G05D 19/02
, H01L 21/027
F16F 15/02 M
, F16F 15/02 A
, G03F 7/20 521
, G05D 19/02 D
, H01L 21/30 503 F
