特許

J-GLOBAL ID：200903044403645446

圧電振動子

発明者： 荒武 潔 ,  富山 光男
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-023080
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223993
出願日： 1999年01月29日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】 振動特性の信頼性を向上し、且つ周波数の調整を容易に行うことのできる圧電振動子を提供する。【解決手段】 一端部が容器12に固定されると共に当該容器12内に気密封止される圧電振動片11と、当該圧電振動片11の表裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると共に外部端子を接続する接続部30を有する励振電極膜17と、該励振電極膜17の先端側に設けられた周波数微調整部36とを具備する圧電振動子において、前記周波数微調整部36に、前記励振電極膜17を構成するCr膜と一緒に形成されたCr膜と最上層にAu膜が形成された積層膜37とを設ける。

請求項（抜粋）：

一端部が容器に固定されると共に当該容器内に気密封止される圧電振動片と、当該圧電振動片の表裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると共に外部端子を接続する接続部を有する励振電極膜と、該励振電極膜の先端側に設けられた周波数微調整部とを具備する圧電振動子において、前記周波数微調整部は、前記励振電極膜を構成するCr膜と一緒に形成されたCr膜と最上層にAu膜が形成された積層膜とを有することを特徴とする圧電振動子。

IPC (3件)：

H03H 9/19 ,  H03H 9/02 ,  H03H 9/10

FI (3件)：

H03H 9/19 A ,  H03H 9/02 M ,  H03H 9/10

Fターム (11件)：

5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE17 ,  5J108GG03 ,  5J108HH04 ,  5J108KK02 ,  5J108KK06

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 水晶振動子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-003361   出願人：シチズン時計株式会社
• 特開昭52-094094
  
• 特開昭54-054592
  
• 圧電共振子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-317727   出願人：株式会社村田製作所