位置決め装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石原勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-306028
公開番号（公開出願番号）：特開平11-143545
出願日： 1997年11月07日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】昇温する支持体からニリアスケールテープへの熱影響を抑えて、高精度な位置決めができるようにすることを目的とする。【解決手段】リニアスケールテープ7と支持体1との間にそれらよりも熱伝導性の高い熱伝導層21を設けるとともに、この熱伝導層21のリニアスケールテープ7よりも張り出した張出部21aに通風による放熱部22を設けて、支持体1からの熱Aを熱伝導層21および通風を伴う放熱部22を通じて放熱して、リニアスケールテープ7への熱影響を抑えることにより、上記の目的を達成する。

請求項（抜粋）：

移動体を直進移動するように案内する案内部を有した支持体に、前記移動体の移動位置情報を持ったリニアスケール目盛体を貼り付け、移動体に設けたリニアセンサでリニアスケール目盛体の位置情報をその時々の位置関係から読み取り、これを基に駆動部が移動体を所定位置に移動させるようにした位置決め装置であって、リニアスケール目盛体と支持体との間にそれらよりも熱伝導性の高い熱伝導層を設け、この熱伝導層のリニアスケール目盛体よりも張り出した張出部に通風による放熱部を設けたことを特徴とする位置決め装置。

IPC (5件)：

G05D 3/00 , G01B 21/00 , G01D 5/36 , H05K 13/04 , B23Q 17/22

FI (5件)：

G05D 3/00 Z , G01B 21/00 C , G01D 5/36 Y , H05K 13/04 D , B23Q 17/22 E

引用特許：

審査官引用 (5件)

電子パッケージの冷却システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-059080 出願人：富士通株式会社
特開平3-175050
特開昭60-118039

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