特許
J-GLOBAL ID：200903044497157547
光導波路およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 寛之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-180243
公開番号（公開出願番号）：特開2005-266739
出願日： 2004年06月17日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【課題】 生産効率の向上を図ることができかつ作業性および生産安定性に優れる光導波路の製造方法およびその光導波路の製造方法により製造される光導波路を提供すること。【解決手段】 アンダークラッド層2の上に、フルオレン誘導体と光酸発生剤とを含む光重合性樹脂組成物のワニスを塗布し、乾燥することにより表面タックのない樹脂層4を形成する。この樹脂層4にフォトマスク5を接触させて、コンタクト露光法により樹脂層4を露光した後、現像して樹脂層4をパターン形成する。その後、樹脂層4を硬化してコア層3を形成し、その後、アンダークラッド層2の上に、コア層3を被覆するようにオーバークラッド層6を形成して、光導波路を得る。この方法によれば、表面タックのない樹脂層4を形成して、コンタクト露光法により露光できるので、スペーサを介在させるなどの工数および煩雑な手間を低減することができ、生産効率の向上を図ることができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
下記一般式(1)で示されるフルオレン誘導体と、光酸発生剤とを含む光重合性樹脂組成物により、コア層を形成する工程を含んでいることを特徴とする、光導波路の製造方法。
IPC (3件)：
G02B6/12
, C08G59/24
, G02B6/13
G02B6/12 N
, C08G59/24
, G02B6/12 M
2H047KA04
, 2H047PA02
, 2H047PA22
, 2H047PA24
, 2H047PA28
, 2H047QA05
, 4J036AA00
, 4J036AD11
, 4J036AD12
, 4J036GA01
, 4J036GA03
, 4J036GA04
, 4J036GA06
, 4J036GA19
, 4J036GA26
, 4J036HA01
, 4J036HA02
, 4J036JA09
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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