特許
J-GLOBAL ID：200903044537507236
画像露光装置及びマイクロレンズユニット並びにその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小林 和憲
, 飯嶋 茂
, 小林 英了
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-140371
公開番号（公開出願番号）：特開2008-292916
出願日： 2007年05月28日
公開日（公表日）： 2008年12月04日
要約：
【課題】マイクロレンズアレイに含まれる複数のマイクロレンズの焦点距離のバラツキに起因する露光画像の画質の低下を防止する。【解決手段】マイクロレンズユニット43は、複数のマイクロレンズ60aが二次元的に配列されてなるMLA60と、このMLA60を支持する支持台80とからなる。支持台80には、一対のマイクロメータヘッド86が設けられている。各マイクロメータヘッド86は、シンブル87の回転に応じてスピンドル88を突出させ、その突出量に応じてMLA60に荷重を加えることにより、MLA60を下方に撓ませる。マイクロレンズユニット43は、各マイクロレンズ60aの焦点距離のバラツキに応じてMLA60を撓ませることにより、焦点距離のバラツキを補正する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
光源から照射された光を変調する複数の画素部が二次元的に配列されてなる空間光変調素子を有する露光ヘッドを備え、画像情報を基に変調された光を露光対象に照射することによって前記露光対象に画像を記録する画像露光装置において、
複数のマイクロレンズが二次元的に配列されてなるマイクロレンズアレイと、前記マイクロレンズアレイを支持するための支持台と、前記支持台に取り付けられ、前記支持台が前記マイクロレンズアレイを支持する際に、前記マイクロレンズアレイの周縁部に接触し、前記マイクロレンズアレイを変形及び/又は傾斜させることによって前記各マイクロレンズの焦点距離のバラツキを補正するバラツキ補正手段とからなるマイクロレンズユニットを前記露光ヘッドに設けたことを特徴とする画像露光装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20
, G02B 3/00
, G02B 7/00
G03F7/20 501
, G02B3/00 A
, G02B7/00 B
, G02B7/00 J
2H043AA06
, 2H043AB02
, 2H043AB10
, 2H043AB15
, 2H043AB36
, 2H097AA03
, 2H097AB05
, 2H097BA01
, 2H097BA10
, 2H097BB01
, 2H097CA06
, 2H097GB04
