特許
J-GLOBAL ID：200903044567370227
クリーン作業モジュール及びクリーントンネル
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
後藤 隆英
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-396763
公開番号（公開出願番号）：特開2002-195636
出願日： 2000年12月27日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：
【要約】【課題】 簡易な構造で、クリーン空間内のクリーン度を低コストにて容易に高めることを可能とする。【解決手段】 出口表面フィルター16eのエア送出表面を、少なくとも前記奥行方向と直交する幅方向に沿って略放射状に湾曲形成し、エア送出部16cから送給されるダウンフローのクリーンエア11を、少なくとも前記幅方向に略放射状に拡大して送出させるように構成したことによって、上記出口表面フィルター16eのエア送出表面から送給されるダウンフローのクリーンエア11を、クリーン空間12における少なくとも幅方向の全幅にわたって良好に送給可能とし、均一なダウンフローが得られるようにしたもの。
請求項（抜粋）：
クリーン空間のエア送出部に設けられた内部主フィルター、及びその内部主フィルターの下流側に配置された出口表面フィルターを通して清浄化されたクリーンエアが、上記エア送出部からクリーン空間内の下方に向かってダウンフローのクリーンエアとして供給され、上記クリーン空間内に配置された作業ユニット上のワークに対して、作業者がクリーン空間内に向かって奥側方向に手を延ばしながら各種作業を行うように構成されたクリーン作業モジュールにおいて、上記出口表面フィルターのエア送出表面は、少なくとも前記奥行方向と直交する幅方向に沿って略放射状に湾曲形成され、上記エア送出部から送給されるダウンフローのクリーンエアを、少なくとも前記幅方向に略放射状に拡大して送出させるように構成されていることを特徴とするクリーン作業モジュール。
IPC (2件)：
FI (3件)：
F24F 13/06 Z
, F24F 13/06 A
, F24F 7/06 C
3L058BE02
, 3L058BF01
, 3L058BF03
, 3L058BF06
, 3L058BG03
, 3L080BA02
, 3L080BA10
, 3L080BB01
, 3L080BE09
