特許
J-GLOBAL ID：200903044672267652
針状体の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-315147
公開番号（公開出願番号）：特開2008-125864
出願日： 2006年11月22日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：
【課題】大量生産に適し、側面が滑らかなテーパ角を有し、針状体の先端部を先鋭化した形状であっても製造可能な針状体の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、透明基材にネガ型フォトレジストを塗布する工程と、前記ネガ型フォトレジストに、開口部を有するマスクを用いて、前記透明基材側から露光処理を行う工程と、を含み、前記開口部を有するマスクは、開口部を通過した通過光を前記ネガ型フォトレジストに集光させるマイクロレンズを有することを特徴とし、マイクロレンズの径および曲率を制御することにより、針状体の寸法および形状を制御することが出来る。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
微細な針状体の製造方法において、
透明基材にネガ型フォトレジストを塗布する工程と、
前記ネガ型フォトレジストに、開口部を有するマスクを用いて、前記透明基材側から露光処理を行う工程と、を含み、
前記開口部を有するマスクは、開口部を通過した通過光を前記ネガ型フォトレジストに集光させるマイクロレンズを有すること
を特徴とする針状体の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
3C081AA19
, 3C081BA12
, 3C081CA23
, 3C081CA36
, 3C081DA43
, 3C081EA39
, 4C167AA71
, 4C167BB01
, 4C167CC05
, 4C167FF10
