特許
J-GLOBAL ID：200903044700677500

熱媒体循環装置及びこれを用いた熱処理装置

発明者：
山崎 幸一

山崎 幸一 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-313219
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121023
出願日： 2001年10月10日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：
【要約】【課題】 装置自体が小型で、且つ設置スペースもそれ程要しない熱媒体循環装置を提供する。【解決手段】 熱媒体循環系78に、温度制御の対象となる温度被制御体と、熱媒体と主たる熱交換を行う主熱交換器88と、循環ポンプ84とを介設してなる温度制御用の熱媒体循環装置において、前記主熱交換器の下流側の前記熱媒体循環系に、熱電冷却素子100を用いた副熱交換器96を介設して前記熱媒体の温度制御を行うように構成する。これにより、装置自体が小型で、且つ設置スペースもそれ程要しない構造とする。
請求項（抜粋）：
熱媒体循環系に、温度制御の対象となる温度被制御体と、熱媒体と主たる熱交換を行う主熱交換器と、循環ポンプとを介設してなる温度制御用の熱媒体循環装置において、前記主熱交換器の下流側の前記熱媒体循環系に、熱電冷却素子を用いた副熱交換器を介設して前記熱媒体の温度制御を行うように構成したことを特徴とする熱媒体循環装置。
IPC (8件)：
F25B 21/02 ,  C23C 16/46 ,  F28D 21/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/26 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31
FI (9件)：
F25B 21/02 Q ,  C23C 16/46 ,  F28D 21/00 Z ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 501 C ,  H01L 21/31 B ,  H01L 21/302 B ,  H01L 21/26 G ,  H01L 21/26 T
Fターム (25件)：
4K030CA04 ,  4K030FA10 ,  4K030KA22 ,  4K030LA15 ,  5F004BA00 ,  5F004BA19 ,  5F004BB25 ,  5F004BB27 ,  5F004BB28 ,  5F004BB29 ,  5F004BB32 ,  5F004BC08 ,  5F004BD04 ,  5F004EA34 ,  5F045DP03 ,  5F045DQ10 ,  5F045EF05 ,  5F045EJ03 ,  5F045EJ04 ,  5F045EJ05 ,  5F045EJ08 ,  5F045EJ09 ,  5F045EJ10 ,  5F045EK10 ,  5F045EK14
引用特許：
審査官引用 (11件)
  • 樹脂成形型の温度調節機
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-327694   出願人：株式会社松井製作所
  • 特開平1-292826
  • 半導体装置の製造装置および製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-025318   出願人：株式会社東芝
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