特許
J-GLOBAL ID：200903044716270265

パターン検査方法及びパターン検査装置及び記録媒体

発明者：
深見 美行

深見 美行 について


出願人/特許権者：
茨城日本電気株式会社

茨城日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 開口 宗昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-151584
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330579
出願日： 2000年05月23日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：
【要約】【課題】 被検査対象プリント基板と対向電極との間の距離及び平行度を常に一定に保持し、同一試験環境下における正確な検査を行なう。【解決手段】被検査対象電気配線を配線したプリント基板上に、同一材料により同一配線長及び同一配線幅及び同一配線層に形成された複数の標準配線を予め配線しておき、これら複数の標準配線と対向電極との間の電気容量値をそれぞれ測定し、前記電気容量測定値間の差異が予め設定された差異値許容範囲内に入りかつ前記電気容量測定値がそれぞれ予め設定された標準電気容量許容範囲内に入るように、前記プリント基板の位置を調整し、しかる後に前記対向電極と被検査対象電気配線との間の電気容量値を測定し、この電気容量測定値が予め設定された電気容量許容範囲内にあるか否かによって前記被検査対象電気配線の良否を判定する。
請求項（抜粋）：
電気容量測定によるパターン検査装置において、被検査対象電気配線を配線したプリント基板上に、同一材料により同一配線長及び同一配線幅及び同一配線層に形成された複数の標準配線を予め配線しておき、これら複数の標準配線と対向電極との間の電気容量値をそれぞれ測定し、前記電気容量測定値間の差異が予め設定された差異値許容範囲内に入りかつ前記各電気容量測定値が予め設定された標準電気容量許容範囲内に入るように、前記対向電極に対して前記プリント基板の位置を調整し、しかる後に前記対向電極と被検査対象電気配線との間の電気容量値を測定し、この電気容量測定値が予め設定された電気容量値許容範囲内にあるか否かによって前記被検査対象電気配線の良否を判定することを特徴とするパターン検査方法。
IPC (3件)：
G01N 27/22 ,  G01R 31/02 ,  H05K 3/00
FI (3件)：
G01N 27/22 Z ,  G01R 31/02 ,  H05K 3/00 T
Fターム (12件)：
2G014AA01 ,  2G014AA13 ,  2G014AB59 ,  2G014AC15 ,  2G060AA09 ,  2G060AE01 ,  2G060AF10 ,  2G060AG11 ,  2G060EA07 ,  2G060EB05 ,  2G060EB09 ,  2G060HC10
引用特許：
審査官引用 (9件)
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