特許

J-GLOBAL ID：200903044731944892

基板検査装置

発明者： 福島 徹哉
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (6件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-203613
公開番号（公開出願番号）：特開2008-032433
出願日： 2006年07月26日
公開日（公表日）： 2008年02月14日
要約：

【課題】基板検査装置において、基板の表面および裏面の欠陥検査の検査効率を向上することができるようにする。【解決手段】基板検査装置100において、ウエハ4のウエハ表面4aおよびウエハ裏面4bに向けて一方向から複数波長の照明光L1をライン状領域Pに照射する光源1および集光レンズ3と、ウエハ4から放射される光から、表面反射光L2と裏面反射光L3と波長成分により選択するダイクロイックミラー15と、表面反射光L2によりウエハ表面4aの画像を撮像するライン撮像部11と、裏面反射光L3によりウエハ裏面4bを撮像するライン撮像部8と、ウエハ4をライン状領域Pに直交する方向に相対移動するステージ16と、ライン撮像部11、8で同時に取得した画像を画像処理して、欠陥抽出用画像を取得する画像処理部を備える構成とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検査対象である基板の表面および裏面に向けて一方向から複数波長を有する光をライン状領域に照射する照明部と、 該照明部によって前記複数波長を有する光が照射された前記基板から放射される光から、前記基板の表面の情報を含む第1の波長成分と、前記基板の裏面の情報を含む第2の波長成分とを選択する波長選択手段と、 該波長選択手段によって選択された第1の波長成分の光により、前記基板の表面の画像を撮像する表面撮像部と、 前記波長選択手段によって選択された第2の波長成分の光により、前記基板の裏面の画像を撮像する裏面撮像部と、 前記照明部、前記表面撮像部、および前記裏面撮像部と、前記基板とを前記ライン状領域に直交する方向に相対移動する移動機構と、 前記表面撮像部および前記裏面撮像部が前記移動機構により相対移動しつつ、それぞれで同時に取得した画像を、画像処理して、前記基板の表面および裏面のそれぞれに対応する欠陥抽出用画像を取得する画像処理部とを備えることを特徴とする基板検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01N21/956 A ,  H01L21/66 J

Fターム (20件)：

2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051BA06 ,  2G051BA08 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB06 ,  2G051CC12 ,  2G051DA07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA39 ,  4M106DB02 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ27

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ウェーハ検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-195850   出願人：株式会社ニデック
• 半導体チップ外観検査方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-146359   出願人：株式会社東芝