特許
J-GLOBAL ID：200903044790138492
球状ICの露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小堀 益 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-209476
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054406
出願日： 1997年08月04日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 球状ICを露光する場合に、焦点深度の調整や解像度の維持及びマスクの作成が容易に行える露光方法を提供すること。【解決手段】 球状IC(1)の中心を通る軸を任意に取り決め、該軸を中心にして球状IC(1)を間欠的に回転させながら、この回転角に対応する球状IC(1)の表面の露光領域Sを露光する。
請求項（抜粋）：
球状ICの中心を通る軸を任意に取り決め、該軸を中心にして球状ICを間欠的に回転させながら、この回転角に対応する球状IC表面の露光領域を露光することを特徴とする球状ICの露光方法
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 502 Z
, G03F 7/20 521
