特許

J-GLOBAL ID：200903044821962717

平板状被検査体のための検査用ヘッド

発明者： 中村 紀之 ,  長谷川 昌志
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-254091
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083899
出願日： 1997年09月04日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】 プローブユニット付近に露出するフラットケーブルをなくし、ヘッドの取扱いを容易にすることにある。【解決手段】 検査用ヘッドは、複数の第1の配線部を一方の面に有する基板と、該基板に配置された1以上のプローブユニットとを含む。プローブユニットは、基板の側の第1の面、該第1の面に続き、該第1の面及び基板に対して角度を有する第2の面並びに第1の面と反対の側の第3の面を有する支持体と、第1の面から前記第2の面に形成された複数の第2の配線部と、第2の配線部に電気的に接続された複数のプローブと、第1及び第2の配線部を電気的に接続すべく基板と第1の面との間に配置された導線性及び弾性を有するスペーサとを含む。

請求項（抜粋）：

複数の第1の配線部を一方の面に有する基板と、該基板に配置された1以上のプローブユニットとを含み、前記プローブユニットは、前記基板に配置された長い支持体であって前記基板の側の第1の面、該第1の面に続き、該第1の面及び前記基板に対して角度を有する第2の面並びに前記第1の面と反対の側の第3の面を有する支持体と、前記第1の面から前記第2の面に伸びる状態に前記支持体に配置されかつ前記支持体の長手方向に間隔をおいて並列的に伸びる複数の第2の配線部と、前記第3の面に前記支持体の長手方向へ間隔をおいて配置された複数のプローブであって前記第2の配線部に電気的に接続されたプローブと、前記第1及び第2の配線部を電気的に接続すべく前記基板と前記第1の面との間に配置された導線性及び弾性を有するスペーサとを含む、平板状被検査体のための検査用ヘッド。

IPC (2件)：

G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 1/073 D ,  H01L 21/66 B

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平4-297876
  
• プローブカード及び検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-349498   出願人：株式会社日本マイクロニクス
• プローブユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-346937   出願人：株式会社日本マイクロニクス
• 特開平4-363671
  

審査官引用 (4件)

• 特開平4-297876
  
• プローブカード及び検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-349498   出願人：株式会社日本マイクロニクス
• プローブユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-346937   出願人：株式会社日本マイクロニクス
• 特開平4-363671