特許
J-GLOBAL ID：200903044904697594
X線検査装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-385177
公開番号（公開出願番号）：特開2002-189002
出願日： 2000年12月19日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：
【要約】【課題】 検査対象となる接合部のX線検査を確実に可能とし従来に比べて高い検査品質が得られるX線検査装置及び方法を提供する。【解決手段】 固定したX線検出器120と、X線発生器110と、X線発生器位置決め装置130とを備え、上記X線発生器位置決め装置にて、上記X線検出器に対して、上記X線発生器を傾斜角度θにて傾けかつ検査対象となる接合部にX線を通過させてX線検出器の中心軸を中心としてその周方向に回動させて上記接合部のX線検査を行なうようにした。したがって、回路形成体に装着された部品のX線検査に支障を及ぼす物が上記回路形成体に存在する場合であっても、検査対象となる接合部のX線検査を確実に行なうことができ、よって従来に比べて高い検査品質を得ることができる。
請求項（抜粋）：
回路形成体(250)に装着された部品(261)と上記回路形成体との接合部(270)にX線を照射して検出された透過X線に基づき得られるX線透視画像に基づいて上記接合部を検査するX線検査装置であって、上記接合部に対してX線を照射するX線発生器(110)と、上記X線発生器に対して上記回路形成体を間に挟み上記回路形成体に対する直交方向(251)に平行で固定して配置され、上記接合部を透過した透過X線を検出するX線検出器(120)と、上記X線発生器を保持し上記直交方向に交差する傾斜角度(θ)にて上記X線発生器を傾斜させ、かつ上記X線検出器の上記直交方向に沿う中心軸(123)を中心としてその軸周り方向に上記X線発生器を回動させて上記X線を上記接合部へ照射する照射位置(118)に上記X線発生器を配置するX線発生器位置決め装置(130)と、を備えたことを特徴とするX線検査装置。
IPC (2件)：
G01N 23/04
, H05K 3/34 512
G01N 23/04
, H05K 3/34 512 A
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA02
, 2G001GA13
, 2G001HA13
, 2G001JA01
, 2G001JA11
, 2G001JA13
, 2G001KA03
, 2G001LA02
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001PA01
, 2G001PA02
, 2G001PA11
, 5E319AA01
, 5E319AC01
, 5E319CC22
, 5E319CD04
, 5E319CD26
, 5E319CD52
, 5E319GG03
, 5E319GG05
, 5E319GG09
, 5E319GG15
