特許
J-GLOBAL ID：200903044911807265
金属ボールの形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-307507
公開番号（公開出願番号）：特開平9-150296
出願日： 1995年11月27日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：
【要約】【課題】 BGA等の接続部に用いられる金属ボールを、所望のサイズで高精度に、一括で大量に、低コストで形成する。【解決手段】 異方性エッチングにより形状の均一なピット2を形成されたシリコン製テンプレート1のピット2部分に、印刷法等により半田ペースト3を充填させる。次いで、半田の融点以上まで加熱し、溶融させ、半田が球状化した後、冷却、凝固させ、半田ボール4を得る。このようなプロセスで半田ボール4を形成することにより、所望のサイズの半田ボールが、一括で大量に、低コストで形成することができる。
請求項（抜粋）：
金属ボールを形成する方法において、ピットを設けたテンプレートに金属を充填させ、加熱することにより金属を溶融し、その後冷却することにより金属を凝固させて球状とすることを特徴とする金属ボールの形成方法。
IPC (3件)：
B23K 35/40 340
, H01L 21/321
, H01L 23/12
B23K 35/40 340 F
, H01L 21/92 604 H
, H01L 21/92 604 Z
, H01L 23/12 L
