校正方法および校正装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤公久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-121955
公開番号（公開出願番号）：特開2006-300688
出願日： 2005年04月20日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：

【課題】1つの基準信号を用いて複数のパラメータを補正できる方法および装置を提供する。【解決手段】相反性を有する信号伝送路を介して接続される被測定物の特性を測定する装置において、信号伝送路の被測定物側の端を開放し、信号伝送路の測定装置側の端にパルス信号を送出し、送出パルス信号を測定装置側で観測してスペクトラム解析し、信号伝送路の被測定物側の端から反射されるパルス信号を測定装置側で観測してスペクトラム解析し、抵抗性負荷のインピーダンスに基づいて得られる係数と送出パルス信号のスペクトラムと反射パルス信号のスペクトラムとを参照して信号伝送路の周波数特性または伝搬遅延量を求める。実測定において、求めた周波数特性または伝搬遅延量を用いて、測定値から誤差の影響を取り除く。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

相反性を有する信号伝送路を介して接続される被測定物の特性を測定する装置において、周波数特性を校正する方法であって、前記信号伝送路の前記被測定物側の端に抵抗性負荷を接続するステップと、前記信号伝送路の前記測定装置側の端に基準信号を送出するステップと、前記送出基準信号を前記測定装置側で観測しスペクトラム解析するステップと、前記信号伝送路の前記被測定物側の端から反射される前記基準信号を前記測定装置側で観測しスペクトラム解析するステップと、前記抵抗性負荷のインピーダンスに基づいて得られる係数と前記送出基準信号のスペクトラムと前記反射基準信号のスペクトラムとを参照して、前記信号伝送路の周波数特性を求めるステップと、を含む方法。

IPC (2件)：

G01R 35/00 , G01R 31/28

FI (2件)：

G01R35/00 J , G01R31/28 M

Fターム (5件)：

2G132AA00 , 2G132AE11 , 2G132AG08 , 2G132AL15 , 2G132AL20

引用特許：

出願人引用 (1件)

半導体試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-359483 出願人：株式会社アドバンテスト

審査官引用 (5件)

特開平4-269675
特開昭63-096573
特開平4-269675

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