電子ビーム測長装置及び測長方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：龍華明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-123921
公開番号（公開出願番号）：特開2001-304839
出願日： 2000年04月25日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：

【要約】【課題】測定対象の汚染を適切に防ぐことができ、また、測長処理にかかる時間を短縮することができる電子ビーム測長装置及び測長方法を提供する。【解決手段】電子ビームを発生する電子銃16と、電子ビームを偏向する偏向器26と、測長対象12を載置可能なステージ14部と、電子ビームに起因して飛散する電子を検出する検出器36と、測長対象内の所定の測長部分が存在すべき設計位置を特定する設計位置情報を記憶する記憶部50と、設計位置情報に基づいて、偏向器26により所定の測長部分が存在すべき設計位置に電子ビームが照射されるように電子ビームを走査し、電子ビームが走査されている際に、検出器36により逐次検出される電子の変化状況に基づいて、測長部分の長さを測る測長制御部58とを有するように構成する。

請求項（抜粋）：

電子ビームを用いて、測長対象内の所定の測長部分を測長する電子ビーム測長装置であって、前記電子ビームを発生する電子銃と、前記電子ビームを偏向する偏向部と、前記測長対象を載置可能な測長対象保持部と、前記電子ビームに起因して飛散する電子を検出する検出器と、前記測長対象内の所定の測長部分が存在すべき設計位置を特定する設計位置情報を記憶する記憶部と、前記設計位置情報に基づいて、前記偏向部により前記所定の測長部分が存在すべき前記設計位置に前記電子ビームが照射されるように前記電子ビームを走査する測長走査制御部と、前記走査制御部により前記電子ビームが走査されている際に、前記検出器により逐次検出される電子の変化状況に基づいて、前記測長部分の長さを測る測長部とを有することを特徴とする電子ビーム測長装置。

IPC (4件)：

G01B 15/00 , H01J 37/147 , H01J 37/21 , H01J 37/28

FI (4件)：

G01B 15/00 B , H01J 37/147 B , H01J 37/21 B , H01J 37/28 B

Fターム (22件)：

2F067AA21 , 2F067AA26 , 2F067CC00 , 2F067CC15 , 2F067EE10 , 2F067EE16 , 2F067GG08 , 2F067HH06 , 2F067HH13 , 2F067JJ05 , 2F067KK04 , 2F067KK07 , 2F067PP12 , 2F067QQ02 , 2F067QQ11 , 2F067RR12 , 2F067UU32 , 5C033FF06 , 5C033MM05 , 5C033UU01 , 5C033UU02 , 5C033UU08

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開昭64-054305
特開昭64-054305
特開昭59-121929

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