特許
J-GLOBAL ID：200903044963530121
基板を輸送し、貯蔵しかつ移送するための装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
岡部 正夫
, 加藤 伸晃
, 岡部 讓
, 臼井 伸一
, 越智 隆夫
, 朝日 伸光
, 三山 勝巳
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-513735
公開番号（公開出願番号）：特表2009-540556
出願日： 2007年05月31日
公開日（公表日）： 2009年11月19日
要約：
本発明によれば、輸送ボックス(1)は、インターフェース(2)に接続することができ、かつ基板(4)を中に配置することができるバスケット(3)を収容することができる。このバスケット(3)は、交互に積み重ねられかつ個々に交換可能な1セットのプレート(3a〜3f)からなる。このバスケット(3)は、インターフェース(2)の内部に完全に移動させられ、次いで移動手段が選択されたプレートを、隣接するプレートを移動させることによって分離させ、ロボット(5)が来てこの選択された基板を抽出するのを可能にする。輸送位置にあるとき、このプレート(3a〜3f)は互いに接触しており、したがって、基板(4)によって占められる空間の量を減少させる。
請求項（抜粋）：
バスケット(3)をポッド・ケーシング(1a)内に挿入でき、かつポッド・ケーシング(1a)から取り外すことができるように、前記バスケット(3)が開口部(1b)を通り移動させることができ、
前記バスケット(3)が、各自が基板(4)を支持する平行なプレート(3a〜3f)の一連の積み重ねから構成され、扉(1c)が閉じられるとき前記プレート(3a〜3f)は互いの上に積み重ねられ、前記扉(1c)が開かれるとき、前記プレートは、前記基板(4)の平面に対して直角な移動方向に沿って、互いから離れて移動可能であることを特徴とする、壁を備える前記ポッド・ケーシング(1a)を有し、かつ前記開口部(1b)、シール方式で前記開口部(1b)を閉鎖する前記扉(1c)、および前記基板(4)を中に貯蔵することができる前記ポッド・ケーシング(1a)内に挿入される前記バスケット(3)を備える、半導体基板などの基板(4)用の輸送ポッド(1)。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 T
, B65D85/38 R
3E096AA06
, 3E096BA15
, 3E096BA16
, 3E096BA17
, 3E096BB03
, 3E096BB04
, 3E096CA08
, 3E096CB01
, 3E096DA01
, 3E096DA03
, 3E096DA17
, 3E096DB08
, 3E096FA03
, 3E096FA09
, 3E096GA05
, 3E096GA07
, 5F031CA02
, 5F031CA07
, 5F031DA08
, 5F031EA06
, 5F031EA10
, 5F031EA11
, 5F031EA14
, 5F031EA19
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031FA24
, 5F031GA02
審査官引用 (2件)
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ウエハ保管装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-171478
出願人：神鋼電機株式会社
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被支持体積層支持装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-031090
出願人：株式会社ダイフク
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