特許
J-GLOBAL ID：200903070332408554
ウエハ保管装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-171478
公開番号（公開出願番号）：特開平8-340043
出願日： 1995年06月13日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、小スペースで、且つ半導体ウエハの枚葉管理に適した保管・搬送を可能とするウエハ保管装置を提供することを目的とする。【構成】 本発明は、半導体ウエハWを段々に載置する複数の棚7A、又は一枚の半導体ウエハWのみを載置する棚157Aを有するウエハカセット7、157を密閉して収納する密閉コンテナ2と、密閉コンテナ2が載置される保管容器10と、保管容器10に載置された密閉コンテナ2を保管容器10に形成された搬入・搬出口10Aと通して保管容器10を気密に連結するロック機構16とを備え、保管容器10の内部には、ウエハカセット7と当該保管容器の内外に搬入/搬出する移送機構13と、半導体ウエハWを段々に収納する複数の棚11A、12Aを有する保管棚11、12と、半導体ウエハWをウエハカセット7の任意の棚7Aから保管棚11、12の任意の棚11A、12Aへ、又はその逆に搬送する搬送機構14とを有してなるものである。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハを段々に載置する複数の棚、又は一枚の半導体ウエハのみを載置する棚を有するウエハカセットを密閉して収納する密閉コンテナと、前記密閉コンテナが載置される保管容器と、前記保管容器に載置された前記密閉コンテナを前記保管容器に形成された搬入・搬出孔を通して当該保管容器の内部に気密に連結するロック機構とを備え、前記保管容器の内部には、前記ウエハカセットを当該保管容器の内外に前記搬入・搬出孔を通して搬入/搬出する移送機構と、前記半導体ウエハを段々に収納する複数の棚を有する保管棚と、前記半導体ウエハを前記ウエハカセットの任意の棚から前記保管棚の任意の棚へ、又はその逆に搬送する搬送機構とを有してなることを特徴とするウエハ保管装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65D 85/86
, B65G 49/07
, H01L 21/02
H01L 21/68 V
, H01L 21/68 A
, B65G 49/07 C
, H01L 21/02 D
, B65D 85/38 R
