特許

J-GLOBAL ID：200903044967031430

映像の形成方法と装置

発明者： トルボジャン・サンドストーム
出願人/特許権者： トルボジャン・サンドストーム
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-064324
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043393
出願日： 1993年03月23日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】 焦点合せシステムを持つような光学的投影法によって対象物の映像を形成する方法及び装置を提供する。【構成】 光源からの互いにインコヒーレントな少なくとも2つの光ビームの組を平行にして、非回折要素が開口遮蔽部をその表面に渡って分布する点の列の組のところで横切るような方向から物体に当てる工程と、開口遮蔽部の中心に向かう方向において回折する回折次数の光に対して各ビームの0の回折次数の光を空間フィルタによって減衰させる工程と、そして光ビームによって形成された像を加える工程とを含む。

請求項（抜粋）：

焦点合せシステムを持つような光学的投影法によって対象物の映像を形成する方法であって、光源からの互いにインコヒーレントな少なくとも2つの光ビームの組を平行にし、これを、非回折要素が開口遮蔽部をその表面に渡って分布する点の列の組のところで横切るような方向から物体に当てる工程と、空間フィルタによって、各ビームの、開口遮蔽部の中心に向かう方向に回折する回折次数を持つ光に対して回折次数が0であるものを減衰させる工程と、光ビームによって形成された像を加える工程とを含むことを特徴とする映像の形成方法。

IPC (4件)：

G02B 27/18 ,  G03B 27/32 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-227512
  
• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-218100   出願人：日本電信電話株式会社
• 微細パタン投影露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-157401   出願人：日本電信電話株式会社