特許
J-GLOBAL ID:200903045092098183
アンモニアガスセンサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
間瀬 ▲けい▼一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-255766
公開番号(公開出願番号):特開2006-071480
出願日: 2004年09月02日
公開日(公表日): 2006年03月16日
要約:
【課題】 感応膜の形成材料及び膜厚に工夫を凝らし、熱的耐久性やセンサ感度をより一層向上させるようにしたアンモニアガスセンサを提供する。【解決手段】 アンモニアガスセンサの感応膜40は、固体超強酸物質でもって、30(μm)よりも厚くかつ100(μm)以下の膜厚を有するように形成されている。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
両電極及び当該両電極に接する感応膜からなる検出素子を備えてなるアンモニアガスセンサにおいて、
前記感応膜は、ZrO2を主成分とし、副成分としてPO42-、SO42-、MoO3、B2O3及びWO3のうちの少なくとも1つを前記主成分に添加してなる固体酸物質でもって、30(μm)よりも厚くかつ100(μm)以下の膜厚を有するように形成されていることを特徴とするアンモニアガスセンサ。
IPC (1件):
FI (2件):
G01N27/12 C
, G01N27/12 B
Fターム (23件):
2G046AA10
, 2G046BA01
, 2G046BA09
, 2G046BB02
, 2G046BB04
, 2G046BC03
, 2G046BC05
, 2G046BE03
, 2G046DB05
, 2G046DC13
, 2G046EA02
, 2G046EA04
, 2G046FB02
, 2G046FE00
, 2G046FE03
, 2G046FE07
, 2G046FE18
, 2G046FE20
, 2G046FE22
, 2G046FE31
, 2G046FE46
, 2G046FE47
, 2G046FE49
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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