特許
J-GLOBAL ID：200903045114085960

液状光重合性組成物、それを用いたナノ構造物およびその製造方法

発明者：
村尾 健二

村尾 健二 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-349447
公開番号（公開出願番号）：特開2008-155344
出願日： 2006年12月26日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：
【課題】光ナノインプリント工程に用いる光ラジカル重合性モノマ組成物の粘度を低下させて、工程に要する時間を短縮する。【解決手段】1000nm以下の最小加工寸法を有する微細構造物であって、該微細構造物はビニルエーテル化合物とアクリレート化合物又はメタクリレート化合物との共重合体からなる熱可塑性重合体からなることを特徴とするナノ構造物。前記ナノ構造物は基体と一体化されていてもよく、支持体上に基体とともに又は独立して形成されても良い。前記ナノ構造物は、ビニルエーテル化合物、アクリレートエステル化合物又はメタクリレート化合物及び光ラジカル重合触媒を含む組成物を重合させて得られる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
1000nm以下の最小加工寸法を有する微細構造物であって、該微細構造物はビニルエーテル化合物とアクリレート化合物又はメタクリレート化合物との共重合体からなることを特徴とするナノ構造物。
IPC (5件)：
B82B 1/00 ,  B29C 59/02 ,  C08F 216/12 ,  C08F 220/10 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
B82B1/00 ,  B29C59/02 Z ,  C08F216/12 ,  C08F220/10 ,  H01L21/30 502D
Fターム (31件)：
4F209AA43 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG03 ,  4F209AG05 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  4J100AE02P ,  4J100AE05P ,  4J100AE06P ,  4J100AE09P ,  4J100AE63P ,  4J100AE70P ,  4J100AE76P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL66Q ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BB07Q ,  4J100BC04P ,  4J100BC04Q ,  4J100BC43Q ,  4J100CA04 ,  4J100DA25 ,  4J100DA62 ,  4J100JA37 ,  5F046AA28
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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