表面欠陥検査方法及びそれを用いた表面欠陥検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：武井秀彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-309889
公開番号（公開出願番号）：特開2004-144612
出願日： 2002年10月24日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

【課題】簡単な構成および調整方法でも、被検査物表面の緩やかな表面凹凸状の欠陥を精度良く検査できる方法および装置を提供すること。【解決手段】表面の滑らかな円筒体もしくは円柱体の被検査物の表面の欠陥を検査する検査方法において、平行光を被検査物の軸方向から軸線に対して5〜25°の角度で、斜めに照射するとともに、該被検査物からの反射光を、レンズの軸線に対して略平行な光のみを通すレンズを通して光電変換センサーで受光し、該光電変換センサーからの信号を処理して前記被検査物の欠陥を検出することを特徴とする表面欠陥検査方法。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

表面の滑らかな円筒体もしくは円柱体の被検査物の表面の欠陥を検査する検査方法において、平行光を被検査物の軸方向から軸線に対して5〜25°の角度で、斜めに照射するとともに、該被検査物からの反射光を、レンズの軸線に対して略平行な光のみを通すレンズを通して光電変換センサで受光し、該光電変換センサからの信号を処理して前記被検査物の欠陥を検出することを特徴とする表面欠陥検査方法。

IPC (4件)：

G01N21/952 , G01B11/30 , G03G5/00 , G03G21/00

FI (4件)：

G01N21/952 , G01B11/30 A , G03G5/00 101 , G03G21/00

Fターム (33件)：

2F065AA49 , 2F065AA61 , 2F065BB06 , 2F065BB08 , 2F065CC00 , 2F065FF04 , 2F065GG02 , 2F065GG03 , 2F065GG04 , 2F065GG07 , 2F065HH03 , 2F065JJ02 , 2F065JJ08 , 2F065JJ25 , 2F065LL04 , 2F065LL26 , 2F065LL28 , 2F065LL30 , 2F065UU01 , 2F065UU02 , 2G051AA90 , 2G051AB20 , 2G051BB01 , 2G051BB07 , 2G051CA04 , 2G051CA06 , 2G051CB01 , 2G051CC09 , 2H068AA21 , 2H068EA12 , 2H068EA41 , 2H134QA01 , 2H134QA02

引用特許：

審査官引用 (4件)

表面形状欠陥検査方法及びそれを用いた表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-303788 出願人：キヤノン株式会社
容器密封面領域検査方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-172007 出願人：オウェンスブロックウェイグラスコンテナーインコーポレイテッド
特開昭50-075086

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