特許
J-GLOBAL ID:200903067568335581

透光性基板の欠陥検出装置及び方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 遠藤 恭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-271121
公開番号(公開出願番号):特開2000-097867
出願日: 1998年09月25日
公開日(公表日): 2000年04月07日
要約:
【要約】【課題】 透光性基板における極めて微細な欠陥を、明瞭かつ容易に検出することができる欠陥検出装置及び方法を提供する。【解決手段】 本発明に係る欠陥検出装置1は、透光性基板Oの第1の面に光を照射する照明系2〜5と、透光性基板Oの第1の面で反射した上記照明系からの光を吸収する光吸収フィルタ11と、上記照明系からの光により透光性基板Oの第2の面に透過される光を入射し、その像を結像するレンズ8と、該結像された像を画像データに変換する撮像手段6と、その像を拡大表示するモニタ9を備える。透光性基板Oに欠陥が存在する場合、照明系からの光は該欠陥位置で乱反射され、その位置に対応する撮像手段6上の対応画素への光量が変化し、これがモニタ9上に拡大して反映されることとなる。この場合において、透光性基板から反射された光は、光吸収フィルタ11によって吸収されるので、撮像手段に結像される像は暗視野となりモニタ上で該欠陥が明瞭となる。
請求項(抜粋):
透光性基板の欠陥を検出するための欠陥検出装置において、上記透光性基板の第1の面に光を照射する照明系と、上記透光性基板の第1の面で反射した上記照明系からの光を吸収する光吸収フィルタと、上記照明系からの光により上記透光性基板の第2の面に透過される光を入射し、上記透光性基板の像を結像するレンズと、上記レンズによって結像された像を画像データに変換する撮像手段と、上記画像データに変換された透光性基板の像を拡大表示するモニタと、を備えた欠陥検出装置。
Fターム (8件):
2G051AA84 ,  2G051AB02 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CB02 ,  2G051EA12 ,  2G051EC01
引用特許:
審査官引用 (7件)
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