特許
J-GLOBAL ID：200903045188697800

高周波電源の進行波電力制御方法及び高周波電源装置

発明者：
石井 晶

石井 晶 について

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武居 宏卓

武居 宏卓 について

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小谷 弘幸

小谷 弘幸 について


出願人/特許権者：
株式会社ダイヘン

株式会社ダイヘン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-013544
公開番号（公開出願番号）：特開2003-218655
出願日： 2002年01月22日
公開日（公表日）： 2003年07月31日
要約：
【要約】【課題】 増幅素子のジャンクション温度Tjが絶対最大定格温度Tjmaxを超えて増幅素子の破壊を招いてしまうことなく、進行波電力の出力開始直後の進行波電力の抑制を緩和する。【解決手段】 進行波電力PFの出力開始時から定められた緩和時間Etimeが経過するまでは電力抑制基準しきい値信号Vth0よりも大きな電力抑制緩和しきい値信号Vth1を電力抑制しきい値信号Vthとし、出力する進行波電力PFの大きさが電力目標値となるように制御するための電力制御信号Vcontを進行波電力設定信号Vset及び反射波電力検出信号値Vprと電力抑制しきい値信号値Vthとの差に応じて変化する電力抑制信号Vsub及び進行波電力検出信号Vpfによって求めて出力する高周波電源の進行波電力制御方法及び高周波電源装置である。
請求項（抜粋）：
電力増幅回路で増幅して出力する進行波電力値が、電力目標値になるように制御する高周波電源の進行波電力制御方法において、前記進行波電力の出力開始時から予め定めた緩和時間が経過するまでは前記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度が絶対最大定格温度を超えることを許容した電力目標値になるように前記進行波電力値を制御し、前記緩和時間が経過した後は前記電力増幅回路の増幅素子のジャンクション温度を絶対最大定格温度以下にする電力目標値になるように前記進行波電力値を制御する高周波電源の進行波電力制御方法。
IPC (3件)：
H03G 3/30 ,  H03F 1/52 ,  H05H 1/46
FI (3件)：
H03G 3/30 E ,  H03F 1/52 Z ,  H05H 1/46 R
Fターム (51件)：
5J091AA01 ,  5J091AA41 ,  5J091CA02 ,  5J091CA57 ,  5J091FA01 ,  5J091HA09 ,  5J091HA19 ,  5J091HA25 ,  5J091HA29 ,  5J091HA38 ,  5J091KA00 ,  5J091KA01 ,  5J091KA28 ,  5J091KA32 ,  5J091KA34 ,  5J091KA47 ,  5J091MA11 ,  5J091MA21 ,  5J091SA00 ,  5J091TA01 ,  5J091TA06 ,  5J091TA07 ,  5J100JA01 ,  5J100LA00 ,  5J100LA10 ,  5J100LA11 ,  5J100LA12 ,  5J100QA02 ,  5J100SA00 ,  5J500AA01 ,  5J500AA41 ,  5J500AC02 ,  5J500AC57 ,  5J500AF01 ,  5J500AH09 ,  5J500AH19 ,  5J500AH25 ,  5J500AH29 ,  5J500AH38 ,  5J500AK00 ,  5J500AK01 ,  5J500AK28 ,  5J500AK32 ,  5J500AK34 ,  5J500AK47 ,  5J500AM11 ,  5J500AM21 ,  5J500AS00 ,  5J500AT01 ,  5J500AT06 ,  5J500AT07
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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