窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-246843
公開番号（公開出願番号）：特開2004-083341
出願日： 2002年08月27日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】高強度、高熱伝導にして反りの少ない、セラミックス基板として好適な、窒化アルミニウム焼結体を提供する。また、スペーサーやしき粉を用いたり、脱脂工程を繰り返し行わなくても、高強度、高熱伝導にして反りの少ない窒化アルミニウム焼結体を、歩留まりよく生産性を高めて製造する。【解決手段】粒界相が希土類アルミニウム酸化物の単一成分からなり、反りが5μm/cm以下、3点曲げ強度が400MPa以上、熱伝導率が160W/m・k以上である窒化アルミニウム焼結体。このような窒化アルミニウム焼結体を、窒化アルミニウム粉末と、希土類化合物からなる焼結助剤と、アクリル系樹脂からなる有機バインダーとを含む成形体を用い、脱脂条件と焼成条件を適正化して製造する。この場合、脱脂と焼成は連続して行うことが好ましい。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

粒界相が希土類アルミニウム酸化物の単一成分からなり、反りが5μm/cm以下、3点曲げ強度が400MPa以上、熱伝導率が160W/m・k以上であることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。

IPC (4件)：

C04B35/581 , C04B35/638 , C04B35/64 , H01L23/373

FI (4件)：

C04B35/58 104B , C04B35/64 301 , C04B35/64 C , H01L23/36 M

Fターム (16件)：

4G001BA03 , 4G001BA08 , 4G001BA09 , 4G001BA36 , 4G001BB03 , 4G001BB08 , 4G001BB09 , 4G001BB36 , 4G001BC34 , 4G001BC51 , 4G001BC52 , 4G001BD03 , 4G001BD14 , 5F036AA01 , 5F036BB01 , 5F036BD14

引用特許：

審査官引用 (12件)

窒化アルミニウム焼結体
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-175256 出願人：株式会社トクヤマ
窒化アルミニウム焼結体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-193650 出願人：株式会社トクヤマ
窒化アルミニウムプレス体
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-177798 出願人：株式会社トクヤマ

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