特許
J-GLOBAL ID:200903045249039127

固体撮像装置用パッケージのシール方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 船橋 國則
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-125148
公開番号(公開出願番号):特開平10-321749
出願日: 1997年05月15日
公開日(公表日): 1998年12月04日
要約:
【要約】【課題】 パッケージへの悪い影響を低減させて信頼性の高い固体撮像用パッケージを得ることができるシール方法を提供する。【解決手段】 一面が開口されたパッケージ本体3のキャビティ2内に固体撮像装置6をインナーリードとワイヤボンディングさせてセットし、その後、前記パッケージ本体3のシール面3aに紫外線硬化樹脂8を塗布してシールガラス7を押し付け、続いてインナーリードの表面及び固体撮像装置6の表面を活性化させる短波長領域(略300nm以下)をカットするフィルター21を介して紫外線を照射し、この紫外線により紫外線硬化樹脂8を硬化させてパッケージ本体3とシールガラス7との間をシールするようにした。
請求項(抜粋):
一面が開口されたパッケージ本体のキャビティ内にインナーリードとワイヤボンディングさせて固体撮像装置をセットし、その後、前記パッケージ本体のシール面に紫外線硬化樹脂を塗布してリッドを押し付け、続いて前記インナーリードの表面及び前記固体撮像装置の表面を活性化させる短波長領域をカットする特性を有したフィルターを介して紫外線を前記シール面に向けて照射し、前記紫外線により前記紫外線硬化樹脂を硬化させて前記パッケージ本体と前記リッドとの間をシールする、ことを特徴とする固体撮像装置用パッケージのシール方法。
IPC (3件):
H01L 23/10 ,  G02B 5/22 ,  H01L 27/14
FI (3件):
H01L 23/10 B ,  G02B 5/22 ,  H01L 27/14 D
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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