特許

J-GLOBAL ID：200903045280267677

ワークの洗浄装置

発明者： 内山 茂行
出願人/特許権者： アピックヤマダ株式会社
代理人 (1件)： 綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-212530
公開番号（公開出願番号）：特開2002-028583
出願日： 2000年07月13日
公開日（公表日）： 2002年01月29日
要約：

【要約】【課題】 吸着ノズルによりワーク個片を確実に支持し、洗浄等の際にワーク個片が位置ずれしたり落下したりすることを防止する。【解決手段】 ワーク個片をエア吸着して支持する複数の吸着ノズル10が搬送アーム12に取り付けられた搬送治具20と、前記吸着ノズル10に支持されたワーク個片が接触する洗浄ローラ及び該洗浄ローラを回転駆動する駆動部を有する洗浄部と、前記搬送治具を前記ワーク個片をエア吸着した位置から前記洗浄部へ移送する移送機構とを備えたワークの洗浄装置において、前記吸着ノズル10の吸着側の先端部に、吸着ノズルの吸着部11の先端部を埋没させてノズル先端部材50が取り付けられ、該ノズル先端部材50の前記ワーク個片がエア吸着される面側に前記吸着ノズルに連通する前記吸着部11の吸引孔42を開口させるとともに、前記吸着部11の端面をノズル先端部材50のエア吸着側の面から後退させて配置したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ワーク個片をエア吸着して支持する複数の吸着ノズルが搬送アームに取り付けられた搬送治具と、前記吸着ノズルに支持されたワーク個片が接触する洗浄ローラ及び該洗浄ローラを回転駆動する駆動部を有する洗浄部と、前記搬送治具を前記ワーク個片をエア吸着した位置から前記洗浄部へ移送する移送機構とを備えたワークの洗浄装置において、前記吸着ノズルの吸着側の先端部に、吸着ノズルの吸着部の先端部を埋没させてノズル先端部材が取り付けられ、該ノズル先端部材の前記ワーク個片がエア吸着される面側に前記吸着ノズルに連通する前記吸着部の吸引孔を開口させるとともに、前記吸着部の端面をノズル先端部材のエア吸着側の面から後退させて配置したことを特徴とするワークの洗浄装置。

IPC (3件)：

B08B 1/04 ,  B08B 3/04 ,  B08B 7/04

FI (3件)：

B08B 1/04 ,  B08B 3/04 Z ,  B08B 7/04 A

Fターム (15件)：

3B116AA03 ,  3B116AB23 ,  3B116AB47 ,  3B116BA08 ,  3B116BA14 ,  3B116BB62 ,  3B201AA03 ,  3B201AB23 ,  3B201AB47 ,  3B201BA08 ,  3B201BA14 ,  3B201BB62 ,  3B201BB92 ,  3B201CB01 ,  3B201CB22

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 液晶表示パネル用洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-189529   出願人：シャープ株式会社
• 電子部品吸着用ノズル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-321794   出願人：松下電器産業株式会社