特許
J-GLOBAL ID：200903045332049908

ガス供給装置及び方法

発明者：
田中 純一

田中 純一 について

, 
折田 隆

折田 隆 について

, 
越後島 真

越後島 真 について


出願人/特許権者：
日本酸素株式会社

日本酸素株式会社 について


代理人 (1件)： 木戸 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-025540
公開番号（公開出願番号）：特開2003-227597
出願日： 2002年02月01日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：
【要約】【課題】 外部からのガス容器の加熱又は冷却を効率よく行えるとともに、供給ガスの圧力を略一定に保つことができるガス供給装置及び方法を提供する。【解決手段】 設置台11上に載置されたガス容器10の底面に向けて熱媒体を噴出するノズル12を設置台の中央部に設けた貫通孔18に挿入するとともに、ガス容器底面と設置台上面との間の空間から熱媒体を排出する熱媒体排出経路を設ける。ガス容器から供給されるガスの圧力及び流量を測定し、測定した流量が許容流量変動幅を超えたときには、測定した流量と基準流量との差に基づいて熱媒体の温度を調節し、測定した流量が許容流量変動幅の範囲内にあるときには、測定した圧力と基準圧力との差に基づいて熱媒体の温度を調節する。
請求項（抜粋）：
設置台上に載置されたガス容器内に充填されている液化ガスをガス容器内で気化させて供給するガス供給装置において、前記ガス容器の底面に向けて熱媒体を噴出するノズルを、前記設置台の中央部に設けた貫通孔に挿入するとともに、ガス容器底面と設置台上面との間の空間から前記熱媒体を排出する熱媒体排出経路を設けたことを特徴とするガス供給装置。
IPC (6件)：
F17C 7/00 ,  C23C 16/448 ,  F17C 13/02 301 ,  F17C 13/08 301 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065
FI (6件)：
F17C 7/00 A ,  C23C 16/448 ,  F17C 13/02 301 A ,  F17C 13/08 301 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B
Fターム (14件)：
3E072AA01 ,  3E072DB00 ,  3E072GA05 ,  3E072GA06 ,  4K030EA01 ,  5F004BC03 ,  5F004BC08 ,  5F004CA02 ,  5F004CA09 ,  5F004DA00 ,  5F004DA11 ,  5F045AC05 ,  5F045EE02 ,  5F045EK10
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • ガス容器用の加熱装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-332221   出願人：日本エア・リキード株式会社
  • ガス供給装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-200239   出願人：新日本製鐵株式会社
  • 液化ガス気化装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-178055   出願人：矢崎総業株式会社
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審査官引用 (2件)
  • ガス容器用の加熱装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-332221   出願人：日本エア・リキード株式会社
  • ガス供給装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-200239   出願人：新日本製鐵株式会社

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