特許
J-GLOBAL ID：200903045332456619

レーザープラズマから輻射光を発生させる方法、該方法を用いたレーザープラズマ輻射光発生装置

発明者：
富江 敏尚

富江 敏尚 について

, 
林 景全

林 景全 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-058243
公開番号（公開出願番号）：特開2006-244837
出願日： 2005年03月02日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：
【課題】 簡便な調整で動作する簡易な装置により、室温では固体で存在する材料を長時間連続に供給する手段を備えたレーザープラズマから輻射光を発生させる方法、該方法を用いたレーザープラズマ輻射光発生装置を提供することを目的とする。【解決手段】 レーザープラズマから輻射線を発生させる方法は、微粒子を含む溶液をノズルから噴出させて液体ジェットあるいは液滴を発生させ、その液体ジェットあるいは液滴にパルスレーザーを照射して溶媒を加熱蒸発し、続けて0.1μs以上の遅延時間後に加熱された液体ジェットあるいは液滴を別のパルスレーザーを照射しプラズマ生成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
微粒子を含む溶液をノズルから噴出させて液体ジェットあるいは液滴を発生させ、その液体ジェットあるいは液滴にパルスレーザーを所定照射強度で照射して溶媒を加熱蒸発し、続けて0.1μs以上の遅延時間後に前記加熱された液体ジェットあるいは液滴に別のパルスレーザーを照射しプラズマを発生させることを特徴とするレーザープラズマから輻射光を発生させる方法。
IPC (6件)：
H05G 2/00 ,  G03F 7/20 ,  G21K 1/00 ,  G21K 5/08 ,  H01S 3/00 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
H05G1/00 K ,  G03F7/20 503 ,  G21K1/00 X ,  G21K5/08 X ,  H01S3/00 Z ,  H01L21/30 531S
Fターム (7件)：
2H097CA15 ,  4C092AA06 ,  4C092AA15 ,  4C092AB19 ,  5F046GC03 ,  5F172AE03 ,  5F172ZZ20
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

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