特許
J-GLOBAL ID：200903069679296103

レーザープラズマ発生方法及び装置

発明者：
富江 敏尚

富江 敏尚 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-080378
公開番号（公開出願番号）：特開2004-288517
出願日： 2003年03月24日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：
【課題】周囲の固体から十分に離れた場所に、十分に高い密度で、デブリを環境にまき散らさないで、固体材料を供給する手法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、レーザーを物質に照射して得られるプラズマから輻射線を発生させる。この物質は、多数の超微粒子が凝集した粒子集合体であり、超微粒子の融点以下で気化する材料を凝集剤としている。微粒子濃度を高めた微粒子集合体8を、プラズマ発生用真空容器9に供給するために、レーザー6で液滴5を加熱し、溶媒7を蒸発させる。液滴を安定に生成するための大量の溶媒を予め蒸発させた上でプラズマ発生用真空容器9に供給することで、真空容器9の真空度の低下が抑制できる。高濃縮化後の微粒子集合体8の直径は数十μmになる。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
レーザーを物質に照射して得られるプラズマから輻射線を発生させるレーザープラズマ発生方法において、 上記物質は、多数の超微粒子が凝集した粒子集合体であり、分子間力や帯電による凝集あるいは超微粒子の融点以下で気化する材料を凝集剤とすることを特徴とするレーザープラズマ発生方法。
IPC (7件)：
H05G2/00 ,  G21K5/02 ,  G21K5/08 ,  H01L21/027 ,  H01S3/00 ,  H05G1/00 ,  H05H1/24
FI (8件)：
H05G1/00 K ,  G21K5/02 X ,  G21K5/08 X ,  G21K5/08 Z ,  H01S3/00 A ,  H05H1/24 ,  H01L21/30 531S ,  H05G1/00 R
Fターム (8件)：
4C092AA06 ,  4C092AA13 ,  4C092AA15 ,  4C092AB30 ,  4C092AC09 ,  5F046GA03 ,  5F046GC03 ,  5F072HH07
引用特許：
審査官引用 (3件)

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