特許
J-GLOBAL ID：200903045342653382
光ディスク基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-133747
公開番号（公開出願番号）：特開2000-040270
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：
【要約】【課題】 光ディスク基板の溝部及びピット部の高精度微細形成を可能とすることで光ディスク基板の大容量化と、ノイズレベルの低減を実現する光ディスクの製造方法を提供する。【解決手段】 マスタリング原盤となる基板1に有機材料からなる皮膜2を形成し、前記有機材料皮膜2上にエッチングマスクとなるマスク材料3のパターンを形成して前記有機材料皮膜2をエッチングした後、前記マスク材料3を除去してマスタリング原盤10を作成し、前記マスタリング原盤10に金属皮膜4aを形成した後その金属皮膜4a上に金属本体部4bを一体に形成し、次いで金属皮膜4a及び金属本体部4bよりなる金属部をマスタリング原盤10より剥離させて金属製スタンパ4を形成する。
請求項（抜粋）：
原盤となる基板の上に低硬度材料からなる皮膜を形成し、上記低硬度材料皮膜上にエッチングマスクとなるマスク材のパターンを形成し、上記マスク材にてマスクされていない上記低硬度材料の非マスク部分について上記基板の厚み方向に沿って少なくとも一部をエッチングした後、上記マスク材を除去して上記原盤を製作し、上記原盤上に金属部を形成し、次いで上記原盤から上記金属部を剥離させて金属製スタンパを製作し、上記低硬度材料は、上記金属製スタンパの凸部における金属に比して上記剥離させるときに上記凸部の変形を防止する程度に硬度の低い材料であることを特徴とする金属製スタンパの製造方法。
引用特許：
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