特許
J-GLOBAL ID：200903045365322898
光学部材検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松岡 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-286538
公開番号（公開出願番号）：特開2003-090805
出願日： 2001年09月20日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：
【要約】【課題】 特定形状に分類される不良要因や、特定エリアに位置する不良要因に対する高精度な品質点数化を行うだけでなく、中間形状の不良要因や中間エリアに位置する不良要因にも対応した品質点数化を行う光学部材検査方法を提供すること。【解決手段】 光学部材検査方法は、A.被検物を撮影し、B.撮影された被検物から不良要因を抽出し、C.各不良要因を、複数の特定形状および中間形状のうちのいずれかに分類し、D.画像上の被検物における、特定エリアおよび中間エリアのうち、各不良要因の重心が存するエリアを検出し、E.Cにおいて分類された形状およびDにおいて分類されたエリアに基づいて、各不良要因を品質点数化し、F.全ての不良要因の品質点数に基づいて、被検物の良否判定を行う。
請求項（抜粋）：
A.照明されている光学部材等の被検物を撮影し、B.撮影された前記被検物の画像に所定の処理を施して、前記被検物が有する不良要因を抽出し、C.抽出された各不良要因を、所定の条件によって、複数の特定形状および各特定形状間に存在する中間形状のうちのいずれかに分類し、D.抽出された各不良要因を、その重心の位置を基準として、前記画像上の被検物を分割した少なくとも2以上の特定エリアおよび各特定エリア間に存在する中間エリアのうちのいずれかに分類し、E.前記Cにおいて分類された形状および前記Dにおいて分類されたエリアに基づいて、各不良要因をそれぞれ品質点数化し、F.抽出された全ての前記不良要因の各品質点数に基づいて前記被検物の良否判定を行う光学部材検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/958
, G01M 11/00 L
2G051AA90
, 2G051AB01
, 2G051AB06
, 2G051AB07
, 2G051BB02
, 2G051BB17
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051DA07
, 2G051DA13
, 2G051EA11
, 2G051EA16
, 2G051EB01
, 2G051EC01
, 2G051ED09
, 2G086FF05
