特許
J-GLOBAL ID：200903045377674552
ガスレートセンサの検出部構造
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (5件)：
曾我 道照
, 曾我 道治
, 古川 秀利
, 鈴木 憲七
, 梶並 順
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-024764
公開番号（公開出願番号）：特開2007-205862
出願日： 2006年02月01日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：
【課題】本発明は、シリコン枠形基板の各突出アームの先端に円弧状のワイヤ部を形成し、その両端部を自由端として熱応力の発生を防止し、精度と感度を向上させることを目的とする。【解決手段】本発明によるガスレートセンサの検出部構造は、シリコン枠形基板(1,1B)の内面に突出して形成された各突出アーム(2,3,4,5)の先端に円弧状のワイヤ部(6,7)を形成し、このワイヤ部(6,7)の両端部(6a,6b,7a,7b)を自由端とし、熱応力の発生を防止する構成である。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
全体形状が枠状をなしシリコンウェハ又はシリコン・オン・インシュレータ(SOI)ウェハを加工してなるシリコン枠形基板(1,1B)と、前記シリコン枠形基板(1,1B)の内面に内方へ向けて突出する複数の突出アーム(2,3,4,5)と、前記シリコン枠形基板(1,1B)の上面に形成された絶縁層(31)と、前記各突出アーム(2,3,4,5)上の前記絶縁層(31)上に形成され円弧状をなすワイヤ部(6,7)と、前記各突出アーム(2,3,4,5)に対応して前記絶縁層(31)上に形成された一対のランド部(50)と、前記各ランド部(50)に形成され前記ワイヤ部(6,7)の第1、第2端部(6a,6b,7a,7b)に接続して延設された導電性パターン(40)とを備え、
前記各ワイヤ部(6,7)の前記各端部(6a,6b,7a,7b)は自由端であると共に互いに離間して配設されていることを特徴とするガスレートセンサの検出部構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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