特許

J-GLOBAL ID：200903045383882019

元素濃度測定装置

発明者： 高 橋 秀 之
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-144333
公開番号（公開出願番号）：特開2005-326253
出願日： 2004年05月14日
公開日（公表日）： 2005年11月24日
要約：

【課題】 適切な測定時間もしくは電子線の照射電流値を演算により求め、これにより精度の高い元素濃度測定を効率良く行う。【解決手段】 試料7に電子線6を照射し、試料7に含有された元素に対応して発生する特性X線6を検出し、これにより試料7中での当該元素の濃度を測定する元素濃度測定装置において、所定の濃度測定下限値に応じた測定時間を、電子線6の照射電流値を基にして求めて表示し、表示された測定時間に基づいて測定を実行する。また、同元素濃度測定装置において、所定の濃度測定下限値に応じた電子線6の照射電流値を、測定時間を基にして求めて表示し、表示された照射電流値に基づいて測定を実行する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料に電子線を照射し、試料に含有された元素に対応して発生する特性X線を検出し、これにより試料中での当該元素の濃度を測定する元素濃度測定装置において、入力部と、測定条件を算出するとともに測定動作を制御する演算制御部と、表示部とを備え、所定の濃度測定下限値に応じた測定時間を、入力部から入力された電子線の照射電流値を基に演算制御部により算出して表示部に表示することを特徴とする元素濃度測定装置。

IPC (1件)：

G01N23/225

FI (1件)：

G01N23/225

Fターム (6件)：

2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001CA01 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001KA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開昭61-70444号公報
  

審査官引用 (3件)

• 表面分析装置による分析測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-362097   出願人：日本電子株式会社
• エネルギー分散型マイクロアナライザ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-286979   出願人：株式会社堀場製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ, 株式会社日立製作所, オックスフォードインスツルメンツアナリティカルリミテッド
• 欠陥検査装置及び検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-302108   出願人：株式会社日立製作所