エネルギー分散型マイクロアナライザ

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , , ,
代理人 (1件)：藤本英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-286979
公開番号（公開出願番号）：特開2003-098129
出願日： 2001年09月20日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】専門的な知識や能力がなくても、試料に最適な分析条件を誰にでも簡単に設定することができ、取り扱いが簡単でありながらも精度の高い分析結果を得ることのできるエネルギー分散型マイクロアナライザを提供すること。【解決手段】電子顕微鏡11とエネルギー分散型X線分析装置22とこれらを制御するコンピュータ13,24とを備えたエネルギー分散型マイクロアナライザにおいて、電子顕微鏡11について設定する分析条件と、その条件に対応する条件でエネルギー分散型X線分析装置22について設定する分析条件とを記憶した記憶媒体13a,24aを設けている。

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡とエネルギー分散型X線分析装置とこれらを制御するコンピュータとを備えたエネルギー分散型マイクロアナライザにおいて、電子顕微鏡について設定する分析条件と、その条件に対応する条件でエネルギー分散型X線分析装置について設定する分析条件とを記憶した記憶媒体を設けたことを特徴とするエネルギー分散型マイクロアナライザ。

IPC (2件)：

G01N 23/225 , H01J 37/252

FI (2件)：

G01N 23/225 , H01J 37/252 A

Fターム (10件)：

2G001AA03 , 2G001BA05 , 2G001CA01 , 2G001FA06 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001GA11 , 2G001KA01 , 5C033PP05

引用特許：

審査官引用 (9件)

像観察方法および走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-047001 出願人：日本電子株式会社, 日本電子テクニクス株式会社
荷電粒子線装置およびその観察方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-166720 出願人：株式会社日立製作所
X線分析装置およびX線分析装置の制御プログラムを記録した記録媒体
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-095686 出願人：株式会社堀場製作所

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