材料中の瑕疵検出方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：絹谷信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-300927
公開番号（公開出願番号）：特開2000-131255
出願日： 1998年10月22日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】異物や気泡等の瑕疵が定量的に検出できる材料中の瑕疵検出方法及びその装置を提供する。【解決手段】被検査材料1を加熱して温度分布を生じさせ、この温度分布を被検査材料1からの放射エネルギにより測定し、測定された温度分布の勾配から被検査材料中の瑕疵4を検出する。

請求項（抜粋）：

被検査材料を加熱して温度分布を生じさせ、この温度分布を被検査材料からの放射エネルギにより測定し、測定された温度分布の勾配から被検査材料中の瑕疵を検出することを特徴とする材料中の瑕疵検出方法。

Fターム (14件)：

2G040AA05 , 2G040AB08 , 2G040BA02 , 2G040BA14 , 2G040BA28 , 2G040CA02 , 2G040CA12 , 2G040CA23 , 2G040DA05 , 2G040DA15 , 2G040EA03 , 2G040EB02 , 2G040HA02 , 2G040HA11

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平4-331360
特開昭54-138484
特開平3-056847

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