炭素ナノチューブのマトリックス構造及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (8件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 渡邊隆 , 青山正和 , 鈴木三義 , 西和哉 , 村山靖彦 , 実広信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-295660
公開番号（公開出願番号）：特開2004-181620
出願日： 2003年08月19日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：

【課題】一定の方向へ曲げた炭素ナノチューブのマトリックス構造を提供することである。【解決手段】本発明は炭素ナノチューブのマトリックス構造を提供し、それは基板、該基板に形成された触媒合金粒子、及び該触媒合金粒子に成長された一定の方向へ曲げた炭素ナノチューブのマトリックスを含み、炭素ナノチューブを用いた素子に対して設計の多様化に利く。また、下記のステップを含む前記構造の製造方法を提供し、(1)基板に触媒層を堆積し、(2)該触媒層に炭素ナノチューブの成長速度を制御するための材料層を堆積し、(3)酸素を含む雰囲気でアニールし、該触媒層をナノオーダー粒子に酸化させ、(4)炭化水素ガスを導入し、炭素ナノチューブを成長する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

基板、該基板に位置された触媒合金粒子及び該触媒合金粒子に成長した炭素ナノチューブのマトリックスを含む炭素ナノチューブのマトリックス構造であって、該触媒合金粒子中に炭素ナノチューブのマトリックスの成長速度を制御するための材料を含み、該材料の含有量が一方向に沿って漸進的に変化し、該炭素ナノチューブのマトリックスが一定の方向へ曲がっていることを特徴とする素ナノチューブのマトリックス構造。

IPC (7件)：

B82B1/00 , B01J23/745 , B82B3/00 , C01B31/02 , C23C14/16 , C23C16/26 , H01L29/06

FI (7件)：

B82B1/00 , B82B3/00 , C01B31/02 101F , C23C14/16 Z , C23C16/26 , H01L29/06 601N , B01J23/74 301M

Fターム (44件)：

4G069AA03 , 4G069AA08 , 4G069AA11 , 4G069AA12 , 4G069BB02A , 4G069BB02B , 4G069BB04A , 4G069BB04B , 4G069BC66A , 4G069BC66B , 4G069BC67A , 4G069BC68A , 4G069CB81 , 4G069FB02 , 4G069FB40 , 4G146AA11 , 4G146AD30 , 4G146BA12 , 4G146BB22 , 4G146BC09 , 4G146BC33B , 4K029AA06 , 4K029AA24 , 4K029BA06 , 4K029BA08 , 4K029BA09 , 4K029BA11 , 4K029BA12 , 4K029BD00 , 4K029BD01 , 4K029CA01 , 4K029DB21 , 4K030AA09 , 4K030BA01 , 4K030BA05 , 4K030BA07 , 4K030BA12 , 4K030BA14 , 4K030BA27 , 4K030BB00 , 4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030LA15 , 4K030LA18

引用特許：

審査官引用 (5件)

特許第6445006号
カーボンナノチューブデバイスおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-305512 出願人：キヤノン株式会社
カーボンナノファイバー複合体およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-301004 出願人：株式会社東芝

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