特許
J-GLOBAL ID：200903045415540646
被測定透明基板の傷検査装置
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)： 油井 透 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-317537
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160680
出願日： 1996年11月28日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 水晶ブランクの載置時、水晶ブランクを基板載置台の定位置に容易に載置でき、ピックアップ時には基板載置台から容易に離脱して搬送できるようにする。【解決手段】 水晶ブランク1の傷検査は、搬送ロボットアーム22で基板載置台2に水晶ブランク1を搬送して光学的に行う。この基板載置台2の載置面に、800〜1500番の粒径の研磨粒子で傷を付け、フッ酸で処理して滑らかな凹凸3を形成する。これにより載置時は水晶ブランク1が基板載置台2上を滑ることがなくなり、載置後は基板載置台2に密着することもなくなる。
請求項（抜粋）：
搬送ロボットによって基板載置台に被測定透明基板を搬送して傷を光学的に検査し、検査後再度搬送ロボットによって搬送される被測定透明基板の傷検査装置において、上記基板載置台の載置面に800〜1500番の粒径の研磨粒子で傷を付け、酸で処理して滑らかな凹凸を形成してあることを特徴とする被測定透明基板の傷検査装置。
引用特許：
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