ネガ型感放射線性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-143186
公開番号（公開出願番号）：特開平9-325492
出願日： 1996年06月05日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】高解像度で矩形のレジストパターンを形成することができ、かつ感度、現像性、寸法忠実度などにも優れており、しかもエキシマレーザーなどの遠紫外線、シンクロトロン放射線などのX線や、電子線などの荷電粒子線の如き遠紫外線以下の短波長放射線のいずれに対しても対応でき、今後さらに微細化が進行するとみられる半導体デバイス製造に有用な化学増幅型ネガ型感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 A)アルカリ可溶性共重合体およびB)感放射線性酸発生剤を含有するネガ型感放射線性樹脂組成物において、アルカリ可溶性共重合体が、例えばp-ヒドロキシスチレンの重合単位およびN-ヒドロキシメチルアクリルアミドの重合単位を含む架橋性を持つ共重合体であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

下記式(1)【化1】ここで、R1は水素原子またはメチル基である、で表される繰返し単位および下記式(2)【化2】ここで、R2は水素原子またはメチル基であり、R3は炭素数1〜4のアルキレン基または炭素数2〜4のアルキリデン基であり、R4は水素原子、炭素数1〜4のアルキル基または炭素数1〜4のハロゲン化アルキル基であり、そしてnは0〜5の数である、で表される繰返し単位を含有してなるアルカリ可溶性共重合体(A)、ならびに感放射線性酸発生剤(B)を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/004 503 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-295183 出願人：サンノプコ株式会社
ネガ型感光性組成物およびこれを用いたパターンの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-236532 出願人：三菱化成株式会社
特開昭61-143747

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