透明導電膜およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村静男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-093778
公開番号（公開出願番号）：特開平9-282945
出願日： 1996年04月16日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】酸化インジウムの(100)面が特定方向に配向している結晶質酸化物からなる従来の透明導電膜を形成するためには、特定の単結晶基板上に製膜するか、基板温度を高くして製膜する必要があり、樹脂基板上に当該透明導電膜を形成することは困難である。また、その配向率は低い。【解決手段】インジウム(In)を主とする1種以上の金属元素と、少なくとも1種のハロゲンと、酸素(O)とを構成元素とし、酸化インジウムの(100)面が基板表面と平行に配向率50%以上で配向している結晶質酸化物によって透明導電膜を形成する。

請求項（抜粋）：

インジウム(In)を主とする1種以上の金属元素と、少なくとも1種のハロゲンと、酸素(O)とを構成元素とし、酸化インジウムの(100)面が基板表面と平行に配向率50%以上で配向している結晶質酸化物からなることを特徴とする透明導電膜。

IPC (4件)：

H01B 5/14 , C23C 14/08 , C30B 29/10 , H01B 13/00 503

FI (4件)：

H01B 5/14 A , C23C 14/08 D , C30B 29/10 , H01B 13/00 503 B

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭63-089436
特開平3-064810
透明導電体材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-150479 出願人：シャープ株式会社

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