真空装置用構造材料および真空装置用構造部材

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯阪泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-182122
公開番号（公開出願番号）：特開平9-010577
出願日： 1995年06月26日
公開日（公表日）： 1997年01月14日
要約：

【要約】[目的] プラズマ放電によって励起された含ハロゲン系のエッチングガスに対して耐食性の優れた真空装置用構造材料を提供すること。[構成] 耐食性シャワープレート71はNi基耐食性合金からなる厚さ4mmの板材74の全面がボルト孔72とガス整流孔73との部分も含めて厚さ1.3mmのアルミニウム(A5052)で被覆されており、被覆アルミニウムの表面には陽極酸化による厚さ20μmの酸化アルミニウム層76が形成されている。

請求項（抜粋）：

ニッケル基の耐食性合金、ステンレス鋼、鋼、ニッケル、チタン等の母材となる金属の少なくとも一面を溶射以外の方法によってアルミニウムまたはアルミニウム合金で被覆したアルミニウム被覆金属の被覆アルミニウムの表面に酸化アルミニウム層、または酸化アルミニウムを介在させまたは介在させずにフッ化アルミニウム層が形成されていることを特徴とする真空装置用構造材料。

IPC (8件)：

B01J 3/00 , C23C 2/12 , C23C 14/00 , C23C 16/44 , C23C 16/54 , C23C 26/00 , C23C 28/00 , H01L 21/205

FI (8件)：

B01J 3/00 K , C23C 2/12 , C23C 14/00 C , C23C 16/44 B , C23C 16/54 , C23C 26/00 Z , C23C 28/00 B , H01L 21/205

引用特許：

出願人引用 (4件)

真空装置用表面被覆金属材
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-323673 出願人：株式会社神戸製鋼所
処理装置及びアルミ系部材のコーティング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-085573 出願人：東京エレクトロン株式会社
特開平3-247778

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