特許

J-GLOBAL ID：200903045540326273

研磨シート及びその製造方法

発明者： 渡辺 信義 ,  横井 紀昭 ,  斎藤 満
出願人/特許権者： 日本ミクロコーティング株式会社
代理人 (1件)： 竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-200156
公開番号（公開出願番号）：特開2001-334473
出願日： 2000年05月30日
公開日（公表日）： 2001年12月04日
要約：

【要約】【課題】研磨材粒子を研磨層に強固に固定したままの状態で研磨層の表面から露出させることができ、研磨中に、研磨材粒子を固定するための樹脂バインダーの被加工物表面への付着や脱粒のない、研磨効率の良い研磨シート及びその製造方法を提供する。【解決手段】研磨材粒子14を樹脂バインダー15で固定した研磨層13を可撓性の基板シート12の表面に形成した後、この研磨層13の表面樹脂15′をプラズマエッチングにより除去し、研磨層12の表面から研磨材粒子14の一部を露出させることによって製造される研磨シート11。研磨層13は、好適に、研磨材粒子14が上下に重なり合うことなく、横並びに並んだ単層配列構造にある。研磨層13の表面樹脂15′は、プラズマエッチングにより、研磨材粒子14が研磨層13の表面から平均粒径の1/20〜1/2だけ露出するように除去される。

請求項（抜粋）：

研磨材粒子を樹脂バインダーで固定した研磨層を可撓性の基板シートの表面に形成した後、前記研磨層の表面樹脂をプラズマエッチングにより除去し、前記研磨層の表面から前記研磨材粒子の一部を露出させる、研磨シートの製造方法。

IPC (5件)：

B24D 11/00 ,  B24B 21/00 ,  B24D 3/00 310 ,  B24D 3/00 ,  B24D 3/28

FI (6件)：

B24D 11/00 Q ,  B24D 11/00 B ,  B24B 21/00 A ,  B24D 3/00 310 B ,  B24D 3/00 310 D ,  B24D 3/28

Fターム (14件)：

3C058AA05 ,  3C058AA09 ,  3C058CB03 ,  3C063AA03 ,  3C063AB07 ,  3C063BB03 ,  3C063BB24 ,  3C063BC05 ,  3C063BG01 ,  3C063BG08 ,  3C063BG22 ,  3C063EE01 ,  3C063EE02 ,  3C063EE26

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 研磨テープ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-262966   出願人：大日本印刷株式会社
• 特開昭62-256776
  
• 研磨シート及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-091352   出願人：日本ミクロコーティング株式会社