特許
J-GLOBAL ID：200903045541473806
試料分析装置
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-184065
公開番号（公開出願番号）：特開平10-010046
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】試料の電子線損傷を軽減し、高精度に焦点調整を行うことができ、或は1つの装置に於いて電子線利用の分析と光利用の分析とを高精度に、且簡易な構成で達成できる装置を提供する。【解決手段】電子線を試料2に照射し試料から発する蛍光を集光する為の反射面を有する集光ミラー3を介して検出する試料分析装置に於いて、前記試料に照明光を投影する為の照明系7,31と、該照明光の前記試料面での反射光を前記集光ミラーを介して検出する為の光検出系22を設け、電子線による試料分析機能と光を使用した試料分析機能とを持合わせ、適宜切替えて試料の分析を行うので、試料の入替えを行う必要がなく、又観察系で焦点合わせを行うことができるので電子線を必要以上に照射しないでよく試料の電子線損傷を防止できる。
請求項（抜粋）：
電子線を試料に照射し試料から発する蛍光を集光する為の反射面を有する集光ミラーを介して検出する試料分析装置に於いて、前記試料に照明光を投影する為の照明系と、該照明光の前記試料面での反射光を前記集光ミラーを介して検出する為の光検出系を設けたことを特徴とする試料分析装置。
引用特許：
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