複合光学装置およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉浦正知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-319291
公開番号（公開出願番号）：特開平8-153889
出願日： 1994年11月29日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：

【要約】【目的】複合光学装置の製造工程における光学部品、接着剤および基体の切断に伴う光学部品の表面への汚れの付着を防止する。【構成】フォトダイオードIC1上に接着剤10によりマイクロプリズム2を接着したレーザカプラを製造する場合に、あらかじめその光入射面や光反射面に親水性物質から成る膜11を設けたバー状のマイクロプリズム2をフォトダイオードICウエーハ上に接着剤10により接着し、これらのバー状のマイクロプリズム2、接着剤10およびフォトダイオードICウエーハを切断部およびブレードに水を吹き付けながらダイサーにより一括して切断する。

請求項（抜粋）：

基体上に接着剤により接着された光学部品を有する複合光学装置において、上記光学部品の表面の少なくとも一部が親水性物質から成る膜により覆われていることを特徴とする複合光学装置。

IPC (4件)：

H01L 31/12 , G02B 6/42 , G11B 7/135 , G11B 7/22

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開昭63-193337
特開平4-069825
ビーム整形プリズムおよび光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-073052 出願人：旭光学工業株式会社

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審査官引用 (8件)

特開昭60-210534
特開昭60-210534
撥水処理された光学部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-291417 出願人：株式会社ニコン, 株式会社那須ニコン, 株式会社シンクロン

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