局所クリーン化におけるインターフェイスボックス及びそのクリーンルーム

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：絹谷信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-225114
公開番号（公開出願番号）：特開平8-088155
出願日： 1994年09月20日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：

【要約】【目的】全室清浄化されたクリーンルーム内の製造装置内の超清浄化が達成できる局所クリーン化におけるインターフェイスボックス及びそのクリーンルームを提供する。【構成】クリーンルーム内に設置される製造装置21に接続され、その製造装置21へウエハカセット23を出入するための局所クリーン化におけるインターフェイスボックスにおいて、上記製造装置21の搬出入口22に接続されるボックス本体30内に半導体ウエハカセット23の搬出入室31を形成し、ボックス本体30の前面に、半導体ウエハカセット23を搬出入室31に出入れするための開閉扉32を設け、該搬出入室31上部のボックス本体30内に、送風機33とケミカルフィルタ34とULPAフィルタ35とを設け、さらに搬出入室31の下部のボックス本体30に、搬出入室31の超清浄空気をクリーンルーム床下チャンバ19に排気する排気系37を設けたことを特徴とする局所クリーン化におけるインターフェイスボックスである。

請求項（抜粋）：

クリーンルーム内に設置される製造装置に接続され、その製造装置へ処理材を出入するための局所クリーン化におけるインターフェイスボックスにおいて、上記製造装置の搬出入口に接続されるボックス本体内に処理材の搬出入室を形成し、ボックス本体の前面に、処理材を搬出入室に出入れするための開閉扉を設け、該搬出入室上部のボックス本体内に、送風機とケミカルフィルタとULPAフィルタとを設け、さらに搬出入室の下部のボックス本体に、搬出入室の超清浄空気をクリーンルーム床下チャンバに排気する排気系を設けたことを特徴とする局所クリーン化におけるインターフェイスボックス。

IPC (4件)：

H01L 21/02 , B65G 49/00 , F24F 7/06 , H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭64-063742
クリーンブース
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-045072 出願人：富士通株式会社
半導体装置の製造方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-106368 出願人：株式会社日立製作所

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